等離子體診斷

ESPion高級朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、準確地進行等離子體診斷，是先進可靠的Langmuir探針。

·Hiden在被動射頻補償方面處于較高地位，在所有的商業化探針中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 

·參考探針補償用于抵制較低頻率影響，例如等離子體電位漂移(如，反應室內腔陽極氧化所致) 或噪音(如，供電源引起)。

·高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈，使用者可調諧至其他頻率。

·獲得數據速度：15scans/s

·通過D-O-E-界面可以自動/半自動/手動分析

·300、600、915mm 自動線性驅動器可選，互鎖隔離閥

·90°探針，組合式線性－旋轉驅動器可選

·ESPion 是所有商業化探針中快速的脈沖等離子體探針

·ESPsoft 包括所有必需的標準脈沖選通電路

·自清洗循環，防止探針污染

·等離子體診斷經由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制