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腐蝕性氣體分析質譜儀

簡要描述:腐蝕性氣體分析質譜儀HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器,快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體,如反應中間產物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體。

  • 產品型號:HPR-80
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2023-11-22
  • 訪  問  量:6738
詳細介紹
品牌其他品牌最小檢測分壓5E-14 mbar
檢測限5ppb質量數范圍510amu
價格區間100萬-150萬產地類別進口
應用領域化工,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,電氣

20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀,初期主要應用于半導體行業的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強氧化性氣體如CIF3、NF3等。

20年來,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。

HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。

主要特點:

1、連接件電拋光工藝處理

2、取樣壓力:1mTorr to 1000Torr

3、高靈敏度三級過濾四極桿

4、檢測限可達 5 ppb

5、QGA專業版定量分析軟件

 
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